Центр коллективного пользования «Материаловедение и нанотехнологии»

Кафедра полупроводниковых приборов и микроэлектроники
Факультет радиотехники и электроники

Оборудование

• двухкамерная установка молекулярно-лучевой эпитаксии
  назначение: выращивание наноструктурированных монокристаллических слоев полупроводников и диэлектриков, получение структур «кремний на изоляторе» (КНИ)
• атомно-силовой микроскоп атомарного разрешения
  назначение: исследование поверхности полупроводниковых и диэлектрических слоев
• аналитический автоэмиссионный электронно-ионный (двухлучевой) растровый электронный микроскоп
  назначение: исследование наноструктур, нанопрепарирование, электронно-лучевая и ионно-лучевая литография, подготовка сверхтонких срезов
• комплект электронного оборудования
  назначение: тестирование электрофизических параметров полупроводниковых материалов, наноструктур и приборов микро- и наноэлектроники
• установка фотолитографии
  назначение: производство интегральных схем, микрорентгеновский анализ

Образовательная деятельность

• участие в подготовке инженеров по специальностям «Микроэлектроника и твердотельная электроника», «Микросистемная техника», «Фотоника и оптоинформатика (Нанофотоника)»
• лабораторные работы по дисциплинам «Физика твердого тела и полупроводников», «Опто- и квантовая электроника», «Основы микро- и нанотехнологии», «Методы исследования материалов и наноструктур», «Наноэлектроника», «Многоэлементные фотоприемные устройства и тепловизоры»
• виртуальные лабораторные работы
• повышение квалификации специалистов в области материаловедения и нанотехнологий